Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos

Abstract

Una investigación, denominada Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos y desarrollada en el Centro de Investigación en Ciencia e Ingeniería de Materiales (CICIMA), de la Universidad de Costa Rica, tuvo como objetivo poder encontrar la relación de los parámetros del magnetrón (presión, potencia y tiempo) con el grosor de formación de las capas delgadas de cobre. Se utilizó el método estadístico de 2K (donde K es el número de parámetros por utilizar en la investigación) y se encontró el número
posible de combinaciones con los tres parámetros del magnetrón, para luego llevar a cabo las deposiciones y posteriormente las mediciones en el microscopio de fuerza atómica (AFM).