Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos
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Resumen
Una investigación, denominada Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos y desarrollada en el Centro de Investigación en Ciencia e Ingeniería de Materiales (CICIMA), de la Universidad de Costa Rica, tuvo como objetivo poder encontrar la relación de los parámetros del magnetrón (presión, potencia y tiempo) con el grosor de formación de las capas delgadas de cobre. Se utilizó el método estadístico de 2K (donde K es el número de parámetros por utilizar en la investigación) y se encontró el número
posible de combinaciones con los tres parámetros del magnetrón, para luego llevar a cabo las deposiciones y posteriormente las mediciones en el microscopio de fuerza atómica (AFM).
posible de combinaciones con los tres parámetros del magnetrón, para luego llevar a cabo las deposiciones y posteriormente las mediciones en el microscopio de fuerza atómica (AFM).
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