Shirkavand N. Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos. ITEC [Internet]. 5 de febrero de 2013 [citado 6 de diciembre de 2025];14(14):pág. 16-17. Disponible en: https://revistas.tec.ac.cr/index.php/investiga_tec/article/view/707