SHIRKAVAND, Nazanin. Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos. Investiga.TEC, [S. l.], v. 14, n. 14, p. pág. 16–17, 2013. Disponível em: https://revistas.tec.ac.cr/index.php/investiga_tec/article/view/707. Acesso em: 6 dic. 2025.